来源: 最后更新:22-12-25 09:50:34
1、化合物制造:化肥、氨、硝酸等化合物的制造。
2、惰性保护:惰性保护介质,速冻食品。
3、制冷剂:低温粉碎等的制冷剂、冷却剂。
4、电子工业:电子工业中的外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻等。
5、标准物:用作标准气、校正气、零点气、平衡气等。
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